Микроскоп Verios 5 XHR SEM
Электронная микроскопия и анализ поверхности / Сканирующие электронные микроскопы

Микроскоп Verios 5 XHR SEM

Сферы применения:

Наука и образование
Энергетика
Химическая промышленность
Фармацевтика
Нефтяная отрасль
Горно-металлургическая промышленность
Криминалистика

Сканирующий электронный микроскоп экстра высокого разрешения, обеспечивающий субнанометровую визуализацию в диапазоне рабочих напряжений от 1 кВ до 30 кВ. Благодаря запатентованной монохромированной колонке UC+ и технологии Elstar, прибор сохраняет выдающееся разрешение даже при посадочных энергиях до 20 эВ. Автоматизация SmartAlign и FLASH снижает время настройки до минимума, делая инструмент доступным и удобным для пользователей любого уровня.

Описание оборудования

Verios 5 XHR SEM позволяет работать с самыми требовательными задачами в наноматериаловедении и полупроводниках. Монохромированный источник UC+ обеспечивает субнанометровое разрешение с 0,6 нм при 30 кВ и ниже напряжениях, включая 0,7 нм при 1 кВ и 1,0 нм при 500 В. Система Elstar с технологиями SmartAlign и FLASH обеспечивает быстрый доступ к nanoscale‑данным даже неопытным пользователям. Линзы ConstantPower и электростатическое сканирование гарантируют стабильность и воспроизводимость изображений. В приборе доступны два варианта пьезоэлектрических столиков — UC (150×150 мм) или HP (100×100 мм).

Verios поддерживает работу как при высоком вакууме, так и при низких давлениях до 150 Па, что позволяет анализировать непроводящие, чувствительные и биологические образцы без предварительного покрытия. Оборудован набором детекторов: ETD, TLD, MD, ICD, Nav‑Cam+, IR‑камера, с возможностью подключения EDS, EBSD, CL, Raman, WDS и др. Программное обеспечение включает AutoScript 4 для автономной работы и сценарного программирования на Python, а также Thermo Scientific Maps Software для автоматического сбора данных по большим площадям с помощью тайлинга и сшивания изображений и TopoMaps для цветной визуализации и 3D реконструкции поверхности.

Функциональность

  • SmartAlign+FLASH — автоматическая календарная выравнивание колонки, минимальное обслуживание и стабильно высокое качество изображения.
  • Режим низкодозовой посадки (до 20 эВ) обеспечивает изображение сверхвысокого контраста при минимальной нагрузке на образец.
  • ConstantPower‑линзы и электростатическое сканирование для прогрессивной стабильности изображения.
  • Варианты столиков Verios 5 UC (150×150 мм, загрузка через дверь) и HP (100×100 мм, загрузка через load-lock).

Преимущества

  • Принцип работы: монохромированный UC+ источник, Elstar колонка, ConstantPower линзы и SmartAlign
  • Программное обеспечение: AutoScript 4, Maps Software, TopoMaps
  • Массогабариты: камера 379 мм ширина, столик UC (150×150 мм), HP (100×100 мм), загрузка через дверь или load-lock
  • Условия эксплуатации: напряжение 20 В–30 кВ, вакуумные режимы HiVac и LowVac до 150 Па
  • Комплектация: стандартные ETD, TLD, MD, ICD, Nav‑Cam+, IR‑камера; опции аналитических детекторов
  • Прочее: автоматизация, минимальное обслуживание, совместимость с расширениями для анализа материалов

Особенности

  • UC+ монохромированный источник для субнанометрового разрешения
  • SmartAlign + FLASH — максимальная автоматизация и стабильность
  • Низкая посадочная энергия до 20 эВ для чувствительных материалов
  • Большая камера (379 мм) с 21 портом
  • Опции: EDS, EBSD, CL, Raman, WDS и другие
  • Автономная операционная платформа с AutoScript 4 (Python‑API) и Maps Software