Микроскоп Apreo ChemiSEM System

Высокопроизводительный сканирующий электронный микроскоп с полевой эмиссией (FEG) и интегрированной технологией ChemiSEM® для прямого комбинированного SEM , EDS и EBSD анализа. С разрешением на уровне нанометров и субнанометров при рабочем расстоянии 10 мм, прибор позволяет работать даже сbeam чувствительными и магнитными образцами. Интеллектуальные функции автоматизации, включая Smart Frame Integration, автофокус и автоматическую стегмацию, обеспечивают удобство эксплуатации и высокую воспроизводимость результатов.

Описание оборудования

Микроскоп Apreo ChemiSEM поддерживает все виды SEM‑анализов: от высококонтрастной визуализации поверхности до картирования состава и структур. FEG‑источник обеспечивает разрешение до 0,7 нм при высоком вакууме и до 1,8 нм в низковакуумной среде. Система Trinity Detection (T1, T2, T3) объединяет in‑lens и in‑column детекторы, а Everhart‑Thornley SE и DBS‑детекторы расширяют возможности визуализации контраста и топографии материала.
ChemiSEM® Technology предлагает живое количественное картирование элементов на базе встроенного EDS. Инструмент TruePix EBSD‑детектор обеспечивает быстрый и точный анализ кристаллографии с низким уровнем шума и высокой чувствительностью. Совместимость с ПО xTalView обеспечивает бесшовный рабочий процесс между SEM, EDS и EBSD секциями измерений.
Устройство оснащено самовыровнивающейся оптической системой, мотorizованной пятиосевой платформой размером до 110×110 мм с нагрузкой до 5 кг, IR‑камерой Nav‑Cam и быстрой вакуумной камерой для ускоренного размещения образцов. Дополнительные функции: автоматическая очистка плазмой, база плагинов для STEM, CL, WDS, Raman и др. Поддерживается удалённое управление.

Функциональность

• Smart Frame Integration (SFI) — динамическое цифровое улучшение изображений: шумоподавление, HDR‑подход, автоматическое слияние кадров для чёткого визуала при низких условиях.
• Автофокус и автоматическая стегмация гарантируют стабильные результаты независимо от опыта оператора.
• Live EDS mapping через ChemiSEM Technology: картирование в режиме реального времени с автоматической количественной обработкой.
• TruePix EBSD‑анализ: высокая пропускная способность, чувствительность при низких энергиях, единичный электронный подсчёт, Zero‑distortion капсулированное изображение.
• Trinity Detection System: T1, T2, T3 + ETD + DBS + IR‑CCD + Nav‑Cam, опционально STEM/CL/DBS‑GAD для расширенного анализа.

Преимущества

• Принцип работы: полевой эмиссионный источник (FEG), система Trinity, функции beam deceleration
• Программное обеспечение: ChemiSEM®, xTalView, TruePix EBSD, Nav Cam interface
• Массогабариты: камера Ø 340 мм, платформа 110×110 мм, макс. вес образца 5 кг
• Условия эксплуатации: высокая/низкая вакуумная среда, рабочие напряжения 20 eV–30 kV, давление до 500 Pa
• Комплектация: базовая + опциональные модули (EDS, EBSD, CL, STEM)
• Прочее: плазменная очистка, автоматическое выравнивание, автоматическая компенсация заряда

Особенности

• Полная интеграция SEM, EDS и EBSD в единую платформу (ChemiSEM Technology)
• Инновационный TruePix EBSD детектор для точной кристаллографической аналитики
• Универсальная система детекторов Trinity (T1–T3) для высококонтрастной визуализации
• Удобное ПО: xTalView, ChemiSEM live mapping, автоматизация параметров, Nav Cam и IR камера
• Возможности расширения: STEM, CL, WDS, Raman и другие опциональные модули