Микроскоп Apreo 2 SEM
Электронная микроскопия и анализ поверхности / Сканирующие электронные микроскопы

Микроскоп Apreo 2 SEM

Сферы применения:

Наука и образование
Энергетика
Горно-металлургическая промышленность
Химическая промышленность
Фармацевтика
Нефтяная отрасль
Криминалистика
Строительная индустрия
Экология

Высокопроизводительный сканирующий электронный микроскоп с полевой эмиссией (FEG источник), обеспечивающий суб нанометровое разрешение даже при рабочем расстоянии 10 мм. Благодаря технологии ColorSEM, прибор отображает элементный состав образца прямо на SEM изображении в режиме реального времени без переключения в отдельное ПО EDS. Продуманная автоматизация: SmartAlign, FLASH, автостигмация и автофокусировка — позволяют любому пользователю быстро получать качественные результаты.

Описание оборудования

Apreo 2 разработан для широкого спектра задач: от наноматериалов до магнитных и органических образцов. Уникальная ColorSEM технология предоставляет live-картирование состава, ускоряя анализ в десятки раз по сравнению с традиционными средствами EDS. SmartAlign автоматически выравнивает оптику, а FLASH обеспечивает точную настройку фокусировки и стигматоров, минимизируя вмешательство оператора. Совместимость с Maps Software позволяет эффективно собирать крупномасштабные tiled‑изображения и автоматизировать сценарии измерений.
Инструмент работает в разных вакуумных режимах, включая высокую, низкую (до 500 Па) и режим beam deceleration. Он обеспечивает стабильность при работе с непроводящими, чувствительными или магнитными образцами благодаря инновационной колонне и системе линз.

Функциональность

  • Live quantitative EDS (ColorSEM) — отображение элементного состава прямо на SEM-изображении в реальном времени, включая карты, линии и идентификацию элементов.
  • SmartAlign и FLASH — автоматическое выравнивание, автофокус, автостигмация, коррекция линз центра и Undo-функции упрощают работу оператора.
  • Nav‑Cam и Multi-sample stage — ускоренная навигация между образцами в камере, multi-stage загрузка до 18 образцов без прерывания эксперимента.
  • Режим beam deceleration и stage bias — широкие диапазоны энергий и компенсации заряда (−4000 В до +600 В) для минимизации повреждений образца.

Преимущества

  • Принцип работы: FEG‑источник, колонна с дифференциальной откачкой, система Trinity, beam deceleration
  • ПО: ColorSEM, Maps 3, AutoScript 4, Flash/Undo, User Guidance
  • Массогабариты: камера Ø 340 мм, 12 портов, stage 110×110 мм, нагрузка до 5 кг
  • Условия эксплуатации: напряжение 200 В–30 кВ, вакуум HiVac, LoVac до 500 Па
  • Комплектация: ETD, T1–T3, Nav‑Cam+, IR‑CCD, возможно EDS, EBSD, STEM, CL, Raman
  • Прочее: plasma cleaning, multi-user режим, beam compensation и сценарии съемки

Особенности

  • Постоянное live‑EDS картирование с ColorSEM прямо в интерфейсе SEM
  • Автоматизация SmartAlign и FLASH делает Apreо 2 доступным даже новичкам
  • Возможность работы на дистанции до 10 мм с высоким разрешением (1 нм)
  • Поддержка нескольких детекторов: ETD, Trinity (T1–T3), Nav‑Cam+, IR‑CCD и опции: DBS, STEM, CL, Raman, WDS