Электронная микроскопия и анализ поверхности / Двухлучевые электронные микроскопы
Микроскоп Helios Hydra 5 PFIB-SEM
Сферы применения:
Многоионный плазменный FIB-SEM нового поколения
Helios Hydra 5 — уникальная система с многовидовым плазменным источником ионов (Multi-Ion Species, MIS), позволяющая работать с ксеноном (Xe), аргоном (Ar), азотом (N) и кислородом (O) в одной установке без замены источника.
Доступны конфигурации Helios Hydra 5 и Helios Hydra 5+ с расширенными аналитическими возможностями. Переключение между ионными видами открывает принципиально новые возможности для работы с реактивными ионами, минимизации повреждений или ускорения удаления материала в зависимости от задачи.
Область применения
Исследование полупроводниковых материалов нового поколения, анализ и модификация оксидных плёнок, подготовка чувствительных к пучку образцов, изучение границ раздела фаз в аккумуляторных материалах.