Микроскоп Helios 5 DualBeam (EXL, PFIB, PFIB Laser)
Сферы применения:
Серия двухлучевых электронных микроскопов Helios 5
Helios 5 — флагманская линейка высокопроизводительных двухлучевых систем FIB-SEM Thermo Scientific. Серия объединяет сверхвысокоразрешающий СЭМ с фокусированным ионным пучком, обеспечивая нанометровую точность при анализе, препарировании и модификации поверхностей и объёмных структур материалов.
Модели серии
Helios 5 EXL оснащён ксеноновым плазменным FIB (Xe PFIB) для высокопроизводительного удаления материала — в 40–60 раз быстрее галлиевого FIB. Незаменим при подготовке крупных ламелей для ПЭМ, глубоком профилировании и 3D-реконструкции больших объёмов.
Helios 5 PFIB обеспечивает прецизионное препарирование с атомарной точностью. Оптимален для подготовки образцов высокого разрешения, корреляционной световой и электронной микроскопии (CLEM), а также создания атомно-тонких ламелей для ПЭМ.
Helios 5 PFIB Laser интегрирует лазерный источник для быстрого предварительного удаления материала на масштабах от миллиметров до микрометров с последующей точной финишной обработкой плазменным FIB — полный цикл подготовки образцов в единой системе.
Область применения
Производство полупроводников и микроэлектроника, материаловедение, геонауки, биология и фармацевтика. Обеспечивают 3D-наноанализ, ионно-лучевое травление, нанофабрикацию и подготовку образцов ПЭМ высочайшего качества.